大型臭氧发生器在产生臭氧时，会产生热量，使设备内部温度升高。较强的温度会分解臭氧，降低臭氧量。因而在臭氧的产生情况下，务必对产生器开展制冷，以平稳和提升臭氧量。

臭氧发生器的冷却方式有空冷和水冷。工业臭氧发生器多为大中型臭氧发生器，一般选用水冷方法制冷。在产生器的设计和使用时，必须遵循相关标准，以得到臭氧的增产，确保产生器的正常运转。

一般采用自来水或循环冷却水制冷。如果现场没有循环冷却水，因为应用大量自来水，会导致不必要的消耗。可以用本地材料。解决前的原水根据板式换热器对里循环冷却水开展制冷，再利用内循环冷却水对臭氧发生器开展制冷。蒸馏水一般用于内循环冷却水。